☉采用了劃時代性模組結構的超薄型平臺:在底座、工作臺之間裝上組合了滑臺組和特殊交叉滾柱軸承，實現(xiàn)了超薄型結構。

☉高剛性、高精度:高品質精磨級滾珠絲杠驅動，小導程，相同細分可達到高的分辨率級高的重復定位精度。

☉超薄型、輕量化、中空結構:中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用

☉潤滑系統(tǒng):在各種運動軌道加入潤滑系統(tǒng)，提高對位平臺使用的壽命及精度。

☉產品整體機構薄且輕，內部結構緊湊，可實現(xiàn)同時進行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉?？蓪崿F(xiàn)任意位置再運動。

☉材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命

產品應用:

☉面板貼膜

☉3D網版印刷

☉玻璃側角及磨邊設備

☉Wafe對位設備

☉P.C.D 曝光設備

☉軟體裁切設備

☉半導體設備