微納光科(深圳)自動(dòng)化設備有限公司

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☉采用了劃時(shí)代性模組結構的超薄型平臺:在底座、工作臺之間裝上組合了滑臺組和特殊交叉滾柱軸承,實(shí)現了超薄型結構。

☉高剛性、高精度:高品質(zhì)精磨級滾珠絲杠驅動(dòng),小導程,相同細分可達到高的分辨率級高的重復定位精度。

  ☉超薄型、輕量化、中空結構:中空結構設計,可作為光學(xué)式檢查裝置或導通測試器使用

  ☉潤滑系統:在各種運動(dòng)軌道加入潤滑系統,提高對位平臺使用的壽命及精度。

☉ 產(chǎn)品整體機構薄且輕,內部結構緊湊,可實(shí)現同時(shí)進(jìn)行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉??蓪?shí)現任意位置再運動(dòng)。

  ☉材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命

產(chǎn)品應用:

  ☉ 面板貼膜

  ☉ 3D網(wǎng)版印刷

  ☉玻璃側角及磨邊設備

  ☉ Wafe對位設備

  ☉  P.C.D曝光設備

  ☉ 軟體裁切設備

  ☉ 半導體設備 


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